氣路泄露排查從氣源泄露和內(nèi)部泄露下手

氣源泄漏檢查：

1.先切斷主機、溫度流量控制器的電源。打開氣瓶上的主閥并將氣源分壓調(diào)節(jié)到0.4MPa。
2.將各氣源的兩級壓力調(diào)節(jié)器的分壓控制手柄返回原位，監(jiān)測分壓表，10分鐘之內(nèi)壓力應(yīng)沒有明顯下降。如果有泄漏，應(yīng)仔細檢查各氣路管線的接頭，并找出泄漏的位置。泄漏的接頭只要上緊到足以阻止泄漏即可。過緊會損壞套圈和接頭。
注意：檢測氣路是否泄漏時，應(yīng)注意不要弄潮濕任何電氣或電子部件，否則會嚴重損壞部件。
 內(nèi)部泄漏檢查：
系統(tǒng)內(nèi)部氣體連接管線在儀器發(fā)貨前都作過仔細的檢查和泄漏試驗。如果系統(tǒng)未作任何升級改動或維修，一般不需檢查泄漏。用戶在安裝氣路系統(tǒng)的有關(guān)部件（如石英裂解管）時，必須嚴格按照本手冊中有關(guān)章節(jié)規(guī)定的操作步驟進行。只要正確安裝這些部件，一般不必檢查泄漏。